5매 마스크 공정1 a-Si(아모포스 실리콘) 박막트랜지스터 공정 a-Si(아모포스 실리콘) 박막트랜지스터 공정오늘은 TFT의 공정에서a-Si TFT의 공정에 대해서 알아보겠습니다. 공정 순서대로 진행하겠습니다. 세정세정이라는 것은 주로 유리 기판을 세정하는 것을 말합니다.공정 진행 전, 혹은 중간 단계에서 표면의 오염물을 제거하기 위해 진행하는 것입니다.이때, 표면에 있는 오염물인 무기물과 유기물 등을 씻겨냅니다. 세정 방법으로는 물리적 세정, 화학적 세정, 건식 세정 등이 있습니다. 물리적 세정의 예시로는• Brush scrubbing (Brushing) • Water jet spray • 초음파 세정: Ultra-sonic(20~400 kHz), Mega-sonic(700k~1.2MHz) 화학적 세정은 DHF(Diluted HF, 희석 불산), FPM(Fluori.. 2020. 10. 15. 이전 1 다음
